金刚石单晶片导热性及应用
发布时间:
2023-06-13
金刚石的导热性相当好,目前已经应用到很多散热元件上了,例如cpu的散热就是涂覆一层金刚石膜,加快其散热速度。这也是奇散热原理决定了其优异的散热性能。导热的方式有两种:如在金属中,主要是电子的运动;但是在晶体如金刚石中,电子紧紧地系在原子中,要松动它们需要一定的能量,在室温下,几乎没有活动的电子。因此,热的传导是靠组成晶体晶格的原子的振动来完成的,物理学家把这种振动称为热能量子(或声子)。可以想象量子在金刚石晶格中的活动就象高速公路上的跑车一样,规则排列的。C原子的晶格好比是光滑的路面,而杂乱分布的¨C原子好比是“减速器。晶体中有很多因素能够减慢声子的振动,这就是为什么大多数晶体不象大多数金属那样是热的良导体的原因。而金刚石总是例外的,部分原因是金刚石相当纯,能消除大多数散射作用。随着本世纪4O年代固体理论的成熟,科学家们开始对同位素引起的特殊效应感兴趣,同一固体中不同同位素的存在将减慢晶体中热能量子的振动。
金刚石是自然界导热率最高的材料——超出金属材料,是较好的热良导体,其热导率不等,一般为138.16W/(m·K)。Ⅱa型金刚石热导性特别好,在液氮温度下为铜的25倍,室温下导热系数高达2000W/(m·K),为铜的5倍,具有超导热性。
金刚石按所含微量元素可分为Ⅰ型金刚石和Ⅱ型金刚石两个类型。Ⅱ型金刚石具有更好的导热性、解理性和半导体性等,多用于空间技术和尖端工业。
1.金刚石单晶尺寸较小,一般在10mm以下,使得常规的半导体英寸级晶片抛光设备难以对金刚石单晶晶片进行良好的固定和测量。
2.金刚石硬度较高,长时间表面的加工时产生的晶体的棱角会对常规抛光盘造成明显的物理损伤,严重影响抛光盘的使用寿命,降低抛光去除效率,同时对于晶体表面也会带来一定的物理划痕。
3.化学机械抛光还需要使用特殊的氧化还原抛光液,针对需要对晶片进行加热来提高化学抛光效率,减少抛光时间,传统的小型半导体晶片抛光设备均无法完成可控的加热。因此需要特殊的抛光设备结构设计和方法来解决毫米尺寸的金刚石单晶片的抛光问题。注;文章来源于网络
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